有鑒於傳統光學檢測解析度不足，難以精準掌握半導體先進製程參數，經濟部標準局支持工研院量測技術發展中心開發X-ray關鍵尺寸量測技術，以精準掌握奈米級晶片的製程參數，展望未...… 阅读全文>>