〔記者洪友芳/新竹報導〕中國傳出突破技術門檻打造出極紫外光(EUV)微影設備原型機。但國內業界專家認為,這只是透過抄襲、複製邁出追趕技術的第一步,能否造出可量產EUV微影設備還有待觀察,可「持續關注」、但「無須過度緊張」,因為中國所謂的EUV技術突破,僅限於能產生EUV光源、並非完整機台。 打臉中… 阅读全文>>